现在安徽搞半导体、精密光学、高端医药这些产业的越来越多,对千级洁净车间的需求也跟着涨起来了。千级车间的标准是,每一立方米空气里,直径0.5微米及以上的灰尘颗粒,不能超过3.52万个。要想把车间装修好,让干净的环境一直保持住,技术和后期维护都得跟上。

先说说技术这块,这可是装修的重头戏。车间里的通风设计很讲究,用的是“垂直层流”方案,就是在车间天花板铺满FFU风机过滤单元。空气流动速度也有要求,控制在0.45-0.55米/秒,这样干净空气就能均匀吹遍整个车间。地面得用能导电的环氧自流平材料,再配上接地网格,把防静电做到位,电阻值保持在10的4次方到10的6次方欧姆,对生产半导体芯片特别合适。墙面用的是电解钢板,表面先磷化处理,再喷上环氧涂料,墙缝还要用专用密封胶封死,保证每小时每米墙面的漏气量不超过0.1立方米。通风系统更是层层把关,从初效、中效、亚高效到高效,一共四级过滤,特别是高效过滤器,直接上H14级别的,把灰尘颗粒拦得死死的。
后期维护也得系统化来做。设计的时候,就留出1.2米宽的检修通道,墙面上装些能拆下来的检测口,再装上温湿度、灰尘监测传感器,数据直接传到中控室。材料也考虑到了维修方便,像墙面用的卡扣式彩钢板,哪块坏了拆下来单换就行,省钱又省事。地面用的耐磨环氧材料,平时打扫就用无尘布,配上专用清洁剂,小心别刮花了。
日常维护都有一套标准流程:每天都得打扫地面和墙面,设备底下、墙角这些容易积灰的地方更得重点清理;每周要换一次初效过滤器,检查下中效过滤器的阻力;每个月都得看看FFU风机运行正不正常,空调除湿效果好不好;每三个月请专业机构来检测车间洁净度,校准监测设备。进车间的人管理也很严,得先换衣服,再进风淋室吹30秒以上,全身消毒,穿上防静电的洁净服,就怕带进灰尘污染了车间。把这些技术和维护都做到位,安徽的千级洁净车间就能稳稳满足高端产业的需求,给地方科技发展出大力。