2025年9月,科大国盾量子科技园(二期)1200万元洁净车间装修招标公告引发行业热议。这个占地3600㎡、包含1500㎡洁净区的项目,精准折射出合肥量子车间装修的核心逻辑——以“分级洁净+精准控扰”适配光电集成器件封测需求。

洁净等级的阶梯式设计是首要突破点。项目明确划分1400㎡万级区与100㎡千级区,万级区采用“初效+中效+高效”三级过滤系统,顶部每平方米配置1台FFU风机过滤单元,确保0.5μm微粒浓度≤35.2万个/m³;千级区则升级为四层过滤,在高效过滤器后增设亚高效过滤段,配合全吊顶密封设计,将微粒浓度压缩至3.52万个/m³以内。这种分级设计既满足不同工序需求,又实现成本精准控制。
防干扰技术体系是量子车间的核心壁垒。地面采用“钢筋混凝土基层+减震垫层+防静电环氧自流平”复合结构,通过浮筑地面工艺将振动控制在0.1g以下,避免影响量子器件封装精度;墙面选用0.8mm厚电解钢板,经磷化处理后喷涂导电环氧涂料,接缝处采用电磁屏蔽胶条密封,形成完整屏蔽层,将外界电磁干扰衰减至10dB以下。
功能分区的科学规划同样关键。车间按“器件预处理-封装-测试-存储”流程布局,各区域通过风淋室与缓冲间隔离,气压梯度控制在5-10Pa,防止交叉污染。测试区单独设置恒温恒湿系统,温度稳定在22±0.5℃,湿度保持45%-55%,完全匹配量子光电器件的精密生产要求。