以芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室(区)除了对微粒的严格控制外,还对温湿度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更严格,消除静电对生产产品的影响,从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。
根据现行规范,电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
1.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
3.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值。
4.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。