本车间以"未来科技"为设计导向,严格遵循ISO14644-1Class5标准,打造高精度半导体制造环境。空间采用浅灰金属壁板与深灰防静电格栅地板的冷色调组合,营造极具科技感的工业美学。
核心设计亮点:
围护系统:浅灰阳极氧化铝金属壁板,表面经纳米涂层处理,反射率精准控制在40%-50%,避免光干扰;
地面系统:深灰铝合金防静电格栅地板,开放率≥60%,电阻值10^4~10^6Ω,下方设置2米深架空层,集成管线与FFU回风系统;
空气净化:天花满布FFU+ULPA超高效过滤器,换气次数≥60次/h,维持0.45m/s垂直层流;
微环境控制:核心光刻区温控精度±0.1℃,振动控制在VC-D级标准;
智能交互:AR虚拟巡检系统与墙装透明OLED数据看板,实时显示18项工艺参数。
通过模块化金属结构与智能化环境监控的完美融合,为半导体制造提供超越摩尔定律要求的尖端生产环境。