电子洁净车间作为现代高科技产业的核心基础设施,其装修工程涉及精密制造、生物医药、半导体等对环境洁净度要求极高的领域。以下从施工要点方面展开分析,为相关企业提供系统性参考。
1、密封性处理
所有接缝需采用中性硅胶密封(宽度≥6mm),风管安装采用液槽密封法兰,泄漏率<0.01%。某液晶面板厂实测数据显示,采用激光焊接工艺的管道系统比传统法兰连接气密性提升40%。
2、洁净管道施工
-纯水系统:316L不锈钢管道,内表面Ra≤0.5μm,坡度设计≥0.5%
-工艺排气:PPH管道热熔焊接,需进行氦质谱检漏(泄漏率<1×10⁻⁹Pa·m³/s)
3、检测与调试
竣工后需进行三项关键测试:
-粒子计数(按ISO14644-1标准)
-气流可视化(发烟测试)
-自净时间测试(从ISO8级恢复到ISO5级应≤15分钟)